探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。探针台广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
探针台是晶圆输送与定位任务的承担者,检测半导体芯片电、光参数的关键设备。CP 测试环节中,探针台首先将晶圆移动至晶圆相机下,确定晶圆的坐标位置;再将探针相机 移动至探针卡下,确定探针卡的坐标位置,当确定二者位置后,即通过载片台将晶圆移动 至探针卡下实现对针。其按不同功能可以分为高/低温探针台、RF 探针台、LCD &TEG探针台、光电探针台等,当晶圆依次与探针接触完成测试后,探针台记录参数特性不符合要求的芯片, 并在进入后序工序前予以剔除,以保障质量与可靠性,降低器件的制造成本。
据 SEMI 预测,2020 年全球的探针台市场规模约为 42.96 亿元。由于半导体设备需求 与半导体芯片出货量息息相关,在 5G、物联网等因素的催化下,半导体芯片出货量维持较 高规模,半导体设备市场规模将稳步提升,探针台市场规模在 2021、2022 年有望达到 51.56 亿元、59.29 亿元。