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激光修复探针台是一种用于信息科学与系统科学、物理学、工程与技术科学基础学科领域的工艺试验仪器。
激光探针台服务内容:
1、激光打标;
2、表层修复线路(利用激光将两层金属线熔融连接);
3、驱除短路点;
4、激光断线;
5、干扰芯片测试;
除了以上几项之外激光探针台兼备常规探针台功能:
1、微小连接点信号引出
2、失效分析失效确认
3、FIB电路修改后电学特性确认
4、晶圆可靠性验证
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