半自动低温探针台是一款高精度半自动探针台。半自动探针台适用于高真空环境中最大200mm晶圆或衬底测量，用液氮制冷至77K或用液氦制冷至20K。半自动低温探针台专为工业环境和主要研究单位而设计，支持硅、化合物半导体和超导器件的直流和射频测量，MENS和光电测试等广泛应用。半自动低温探针台主要特征：
一，灵活性
用于直径高达 200 mm 的晶圆或单一裸片的不同衬底载体
探针卡和/或多达 8 个针座
用液氮或氦使用，根据目标温度
可提供附件，比如：黑体和光学运动分析工具
针对 300 mm 晶圆的任选升级
专为工业环境而设计
涵盖广泛的测量（I-V、C-V、RF、MEMS、OPO）
非常适合于小结构
二，稳定性
◦低至 77 K（液氮）或低于 20 K（液氦）的无冰和无凝结探查
◦探针座被置于真空室的内部
◦短且稳定的探针臂
◦具有内置隔振设计的坚固探针台框架
◦任选的显微镜桥
◦精确的探针定位
◦良好的测量准确度和重复精度
◦良好的减震作用
◦对于高分辨率显微镜稳定的图像质量
三，简单易用
◦操纵杆控制器
◦具有旋转贯穿件的手动探针定位器
◦通过装载门提供了前装能力
◦舒适和简易的操作
◦DUT 的快速且符合人体工程学的变更
