探针台厂家介绍手动综合型分析探针台主要规格参数:
外形 960mm长*850mm宽*900mm高 或1300mm长*920mm宽*920mm高
重量 170-300公斤
样品台 尺寸6英寸/8英寸/12英寸，可360度旋转
行程 X-Y行程6*6英寸/8*8英寸/12英寸*12英寸
移动精度 1um 样品固定方式 真空吸附
背电极测试功能 有，样品台电学独立悬空
针座平台 U型平台，最多可放置6～12个针座
行程&调节方式 平台可以快速升降，行程 6mm,并带自动锁定功能；可以上下微调，行程25mm，升降精度1um
光学特性 显微镜行程 X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴：50.8mm
显微镜移动精度 1um
切换镜头方式 显微镜快速倾仰30度
放大倍数 20~4000X
镜头规格 目镜：10X；物镜：5X,10X,20X,50X,100X（选配）
CCD像素 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字）
点针规格 X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
机械精度 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米
漏电精度 10pA/100fA （配置屏蔽箱时）
接口形式 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口
应用方向 晶圆测试，光电器件测试，PCB/封装器件测试，射频测试，高压/大电流测试等
3.2特点、应用
结构稳定，针座平台可快速升降、微调，适合针卡测试；兼容高倍率显微镜，可微调移动；无回程差设计，大手柄驱动，操作舒适；芯片内部线路/电极/PAD测试；最大可用于12英寸以内样品测试；材料/器件的IV/CV特性测试；精密丝杠传动结构，线性移动；器件高频特性测试（最高至300GHz。
