六盒联盟

武汉晶圆探针台厂家

低温真空探针台是一款为晶片、器件和材料（薄膜、六盒联盟、石墨烯、电子材料、超导材料、铁电材料等）提供真空和低温测试条件下进行非破坏性的电学表征和测量平台。CPS系列低温真空探针台可以对材料或器件进行电学特性测量、光电特性测量、参数测量、高阻测量、DC测量、RF测量和微波特性测量，广泛应用于半导体工业（芯片、晶圆片、封装器件）、MEMS、超导、电子学、物理学和材料学等领域。为了提高系统的实用性，系统还可以提供3.2K的温度扩展选件、振动隔离装置、LN2杜瓦、高放大倍数的显微镜、分子泵机组、热辐射屏的温度控制装置、探针臂的光纤六盒联盟、光学样品架等选件。

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高低温真空磁场探针台探针台配备4个（可选6个或8个）拥有高精度位移的探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等，广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。

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高低温真空探针台应用：可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析，如：半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，六盒联盟，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。

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高低温真空微波探针台技术指标：1、六个探针臂接口，可以安装六个探针臂。2、一个CF40 真空抽气口，一个快速破真空进气口。3、载物Chuck 温度范围：4K-500K ；CF法兰接口，系统极限真空优于5*10-6Pa。4、漏率优于：1.3*10-10Pa.M3/s；探针X-Y-Z三方向移动，行程：25.4mm，定位精度：10μm。5、双屏蔽chuck高低温时达到100FA 的测试精度。

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真空低温电学测试探针台的技术指标：在一个探针臂上安装温度计，可方便实时监测探针温度，准确判断系统是否达到温度平衡；回温方式：防辐射屏上安装温度计和加热器，系统可进行快速回温；采用四通道高性能控温仪，可分别对防辐射屏、样品台、探针臂进行控温和测温；控温稳定性：优于±100 mK；显微镜系统光学分辨率优于4 µm，样品照明采用同轴光和环形光各一套；直流探针具有Guard保护结构设计，适合于进行微弱电信号测量，减少漏电流；

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半自动型探针台：chuck尺寸800mm/600mm；X,Y电动移动行程200mm/150mm；chuck粗调升降9mm，微调升降16mm；可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜；针座摆放个数6～8颗；显微镜X-Y-Z移动范围2"x2"x2"；可搭配Probe card测试；适用领域：8寸/6寸Wafer、IC测试之产品