六盒联盟

青岛高低温探针台品牌厂家

LCD半自动探针台：机械手臂取放片；电动、键入坐标寻位置；量测尺寸（mm）：1800x1600、1300x1200、1200x1000；LCD手动探针台；白炽灯或者LED整面背光；TFT元件特性、Driver IC量测分析；机台尺寸（mm）：800x600、500x400、300x300

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低温真空探针台是一款为晶片、器件和材料（薄膜、六盒联盟、石墨烯、电子材料、超导材料、铁电材料等）提供真空和低温测试条件下进行非破坏性的电学表征和测量平台。CPS系列低温真空探针台可以对材料或器件进行电学特性测量、光电特性测量、参数测量、高阻测量、DC测量、RF测量和微波特性测量，广泛应用于半导体工业（芯片、晶圆片、封装器件）、MEMS、超导、电子学、物理学和材料学等领域。为了提高系统的实用性，系统还可以提供3.2K的温度扩展选件、振动隔离装置、LN2杜瓦、高放大倍数的显微镜、分子泵机组、热辐射屏的温度控制装置、探针臂的光纤六盒联盟、光学样品架等选件。

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低温真空探针台多达四个可互换的探针臂；闭环（无冷冻剂）探针台选项；测量磁场的高斯计和霍尔探头；可选，单极，高稳定性，风冷功率磁铁电源；可选双极、高稳定性、水冷动力磁铁电源；可选的手动控制精密旋转台，最小步长为 1°；使用无冷冻剂水平场电磁探头系统执行电气测量的可选软件；可选的特殊微型真空室在真空下将样品从手套箱转移到探针台

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电动型探针台：chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不锈钢或镀金）；X,Y电动移动行程300mm x 300mm；chuck粗调升降9mm，微调升降16mm，微调精度土1u；可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜；针座摆放个数8～12颗；显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“；材质：花岗岩台面+不锈钢；可搭配Probe card测试；适用领域：12寸Wafer、IC测试之产品

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手动探针台的使用方式：1.将样品载入真空卡盘，开六盒联盟空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。2.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。3.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。4.显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品x-y，将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。

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高低温真空探针台可进行真空环境下的高低温测试（4.2K~500K），可升级加载磁场，低温防辐射屏设计，样品台采用高纯度无氧铜制作，温度均匀性更好，温度传感器采用有着良好稳定性和重复性的PT100或者标定过的硅二极管作为测温装置，支持光纤光谱特性测试，兼容高倍率金相显微镜，可微调移动，器件的高频特性(支持高67GHz频率)，探针热沉设计，LD/LED/PD的光强/波长测试，自动流量控制，材料/器件的IV/CV特性测试等。