六盒联盟

长春半自动探针台生产厂家

低温真空探针台是一款为晶片、器件和材料（薄膜、六盒联盟、石墨烯、电子材料、超导材料、铁电材料等）提供真空和低温测试条件下进行非破坏性的电学表征和测量平台。CPS系列低温真空探针台可以对材料或器件进行电学特性测量、光电特性测量、参数测量、高阻测量、DC测量、RF测量和微波特性测量，广泛应用于半导体工业（芯片、晶圆片、封装器件）、MEMS、超导、电子学、物理学和材料学等领域。为了提高系统的实用性，系统还可以提供3.2K的温度扩展选件、振动隔离装置、LN2杜瓦、高放大倍数的显微镜、分子泵机组、热辐射屏的温度控制装置、探针臂的光纤六盒联盟、光学样品架等选件。

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高低温真空磁场探针台探针台配备4个（可选6个或8个）拥有高精度位移的探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等，广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。

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高端型探针台GPS产品特点：真空吸附卡盘可选6寸，8寸，12寸或其它（加热卡盘可选）；卡盘XY行程：150mm / 200mm / 300mm；高精密滚珠丝杠调节，可选电动控制；卡盘旋转0 ~ 30度（精细调整旋转可选）；卡盘上下行程：5mm；显微镜支撑移动平台行程 25mmx

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高低温真空微波探针台是一种用于电子与通信技术领域的工艺试验仪器，于2016年10月16日启用。主要功能：能够实现样品在低温真空环境的测试，实现样品在10-4 PA 真空度，4.2K 到480K 任意温度点的精确电学测量，可实现直流和微波（40GHz）的测量。