六盒联盟

南京高低温探针台价格

激光探针台产品特点：●测试速度快，提升了测试效率 ●内部防震系统装置，运行更稳定 ●0.1um高精度直线电机平台 ●电学屏蔽系统，屏蔽光线和电磁干扰 ●高测试精度，精准测量稳定可靠 ●兼容高倍率金相显微镜，自动聚焦 ●自动清针，自动测针 ●全自动测试，数据自动读取

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低温真空探针台是一款为晶片、器件和材料（薄膜、六盒联盟、石墨烯、电子材料、超导材料、铁电材料等）提供真空和低温测试条件下进行非破坏性的电学表征和测量平台。CPS系列低温真空探针台可以对材料或器件进行电学特性测量、光电特性测量、参数测量、高阻测量、DC测量、RF测量和微波特性测量，广泛应用于半导体工业（芯片、晶圆片、封装器件）、MEMS、超导、电子学、物理学和材料学等领域。为了提高系统的实用性，系统还可以提供3.2K的温度扩展选件、振动隔离装置、LN2杜瓦、高放大倍数的显微镜、分子泵机组、热辐射屏的温度控制装置、探针臂的光纤六盒联盟、光学样品架等选件。

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真空低温电学测试探针台的技术指标：直流探针阻值为50欧姆，为射频RF测量提供很好的匹配阻抗；探针臂分别在防辐射屏及样品台上热沉，减少探针落针对样品温度的影响；基础温度真空指标：约5 × 10-5 Torr；系统配备50 L进口液氮杜瓦.。

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双面量测探针台(上下点针方式) ：可兼容DC测试、射频、高频、微波测试；直流到高频量测范围；特点：XY龙门式移动平台，与显微镜精微调装置配合，设计结构稳定，可操控范围广，放置样品以及点针操作方便；可搭配体式显微镜/高倍率长工作距离视频显微镜/高分辨率金相显微镜、荧光显微镜等；探针座可根据移动精度选择，吸附方式可选磁吸附或真空吸附；双面式点针操作，样品固定设计合理。

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高低温真空微波探针台是一种用于电子与通信技术领域的工艺试验仪器，于2016年10月16日启用。主要功能：能够实现样品在低温真空环境的测试，实现样品在10-4 PA 真空度，4.2K 到480K 任意温度点的精确电学测量，可实现直流和微波（40GHz）的测量。

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真空低温电学测试探针台的技术指标：在一个探针臂上安装温度计，可方便实时监测探针温度，准确判断系统是否达到温度平衡；回温方式：防辐射屏上安装温度计和加热器，系统可进行快速回温；采用四通道高性能控温仪，可分别对防辐射屏、样品台、探针臂进行控温和测温；控温稳定性：优于±100 mK；显微镜系统光学分辨率优于4 µm，样品照明采用同轴光和环形光各一套；直流探针具有Guard保护结构设计，适合于进行微弱电信号测量，减少漏电流；