六盒联盟

长春高低温探针台图片规格参数

高低温真空磁场探针台探针台配备4个（可选6个或8个）拥有高精度位移的探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等，广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。

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低温真空探针台是一种利用液氦/液氮快速制冷并为晶片、器件和材料（薄膜、六盒联盟、石墨烯、电子材料、超导材料、铁电材料等）提供真空和低温测试条件下进行非破坏性的电学表征和测量平台。该低温真空探针台可以对材料或器件进行电学特性测量、光电特性测量、参数测量、高阻测量、DC测量、RF测量和微波特性测量。

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高低温真空微波探针台是一种用于电子与通信技术领域的工艺试验仪器，于2016年10月16日启用。主要功能：能够实现样品在低温真空环境的测试，实现样品在10-4 PA 真空度，4.2K 到480K 任意温度点的精确电学测量，可实现直流和微波（40GHz）的测量。

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低温真空探针台有单模和多模光纤选项的光纤探针臂；可选的通过样品架进行传输测量的光学接入；带有六盒联盟和电线的附加电气馈通到样品区域；可选的特殊微型真空室在真空下将样品从手套箱转移到探针台；适用于所有单镜系统组件的非常平滑的 xyz 移动平台；可选的可移动样品架