六盒联盟

内蒙古晶圆探针台图片规格参数

高低温真空磁场探针台可选附件：各类DC探针、高频探针、主动式探针、六盒联盟线；CCD或C-MOS视频成像装置；Chuck运动装置；电磁铁系统/超导磁铁系统；1Mpa正压系统升级；超高温升级选件；超高真空升级选件；各类探针夹具；屏蔽箱；防振桌；转接头；静音真空泵

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真空探针台可实现高真空环境下的高温及低温电学性能测量，真空腔一体成型，具有设计合理，真空度稳定，温控精度及机械精度高等特点；根据测试温度范围不同，可单选高温或低温等相应组件，温度可达到1000℃，低温部分采用液氮或液氦冷却组件，温度可低至77K/10K，；真空系统可选机械泵或分子泵系统，真空度可达到10-3Torr或10-6Tor。

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真空低温电学测试探针台的技术指标：1、温度范围：80 K-475 K；2、制冷形式：采用液氮制冷；3、循环时间：小于2.5小时；4、4个直流探针臂，用来做电学实验，可进行直流到50 MHz的电学测量；5、探针臂的可移动距离X方向51 mm；

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高低温真空磁场探针台应用范围：磁特性测试、微波特性测试、直流、RF特性测试，微电子机械系统，超导电性测试，六盒联盟电路的光电属性，量子点和线，高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等。

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高低温探针台技术指标：1、ST-500低温真空探针台，振动水平 +/- 25 nm；漂移：+/- 150 nm 30分钟； 2、系统包括8 英寸样品台，可容纳8英寸样品。温度范围：液氦：6K-475K；液氮：80K-475K。温度均匀性+/-0.05K以内。 3、探针台提供6个探针臂端口，4个独立的微操作探针臂。