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真空探针台可实现高真空环境下的高温及低温电学性能测量,真空腔一体成型,具有设计合理,真空度稳定,温控精度及机械精度高等特点;根据测试温度范围不同,可单选高温或低温等相应组件,温度可达到1000℃,低温部分采用液氮或液氦冷却组件,温度可低至77K/10K,;真空系统可选机械泵或分子泵系统,真空度可达到10-3Torr或10-6Tor。
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