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上海高低温探针台专业厂家

高低温真空磁场探针台探针台配备4个（可选6个或8个）拥有高精度位移的探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等，广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。

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真空低温电学测试探针台的技术指标：在一个探针臂上安装温度计，可方便实时监测探针温度，准确判断系统是否达到温度平衡；回温方式：防辐射屏上安装温度计和加热器，系统可进行快速回温；采用四通道高性能控温仪，可分别对防辐射屏、样品台、探针臂进行控温和测温；控温稳定性：优于±100 mK；显微镜系统光学分辨率优于4 µm，样品照明采用同轴光和环形光各一套；直流探针具有Guard保护结构设计，适合于进行微弱电信号测量，减少漏电流；

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高低温真空磁场探针台探针台配备4个（可选6个或8个）拥有高精度位移的探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等，广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。

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半自动型探针台：chuck尺寸800mm/600mm；X,Y电动移动行程200mm/150mm；chuck粗调升降9mm，微调升降16mm；可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜；针座摆放个数6～8颗；显微镜X-Y-Z移动范围2"x2"x2"；可搭配Probe card测试；适用领域：8寸/6寸Wafer、IC测试之产品

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磁场低温探针台技术指标：1、 ±2.5T垂直磁场；2、 10K基础温度，温度范围：10K-500K；3、 制冷方式：闭循环制冷，不需要消耗液氦；4、 控温稳定性：优于±200mK；5、 探针臂X方向可移动距离不小于51mm；6、 探针臂Y方向可移动距离不小于25mm；7、 探针臂Z方向可移动距离不小于18mm；8、 直流探针频率范围：DC-50MHz；9、 显微镜系统光学分辨率优于4µm；10、 一个尺寸不小于1.25英寸的接地样品座。