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北京高低温探针台厂家

高低温探针台是一种用于信息科学与系统科学领域的工艺试验仪器，于2010年06月09日启用。主要功能：用于测试不同环境、不同温度条件下微结构半导体器件、微电子器件及材料电学特性表征。

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高低温真空探针台可用于不同温度范围内的IV和CV曲线测试,微波测试,光电测试.高低温真空探针台可用于表征变磁环境下的磁输运特性,理解载流子浓度的霍尔效应测试.

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高低温探针台具有优异的机械系统,结构性能稳定,人体工程学设计,操作便捷,支持多功能升级,功能丰富全面,该产品主要应用于集成电路,LED,LCD,太阳能电池,半导体行业的制造和研究领域

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高低温真空微波探针台技术指标：1、六个探针臂接口，可以安装六个探针臂。2、一个CF40 真空抽气口，一个快速破真空进气口。3、载物Chuck 温度范围：4K-500K ；CF法兰接口，系统极限真空优于5*10-6Pa。4、漏率优于：1.3*10-10Pa.M3/s；探针X-Y-Z三方向移动，行程：25.4mm，定位精度：10μm。5、双屏蔽chuck高低温时达到100FA 的测试精度。