六盒联盟

浙江高低温探针台专业厂家

高低温真空探针台可进行真空环境下的高低温测试（4.2K~500K），可升级加载磁场，低温防辐射屏设计，样品台采用高纯度无氧铜制作，温度均匀性更好，温度传感器采用有着良好稳定性和重复性的PT100或者标定过的硅二极管作为测温装置，支持光纤光谱特性测试，兼容高倍率金相显微镜，可微调移动，器件的高频特性(支持高67GHz频率)，探针热沉设计，LD/LED/PD的光强/波长测试，自动流量控制，材料/器件的IV/CV特性测试等。

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低温真空探针台有单模和多模光纤选项的光纤探针臂；可选的通过样品架进行传输测量的光学接入；带有六盒联盟和电线的附加电气馈通到样品区域；可选的特殊微型真空室在真空下将样品从手套箱转移到探针台；适用于所有单镜系统组件的非常平滑的 xyz 移动平台；可选的可移动样品架

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标准型探针台：可兼容DC测试、射频、高频、微波测试；直流到高频；产品特点：XY平台调节，Z轴快速升降；可搭配体式显微镜/高倍率长工作距离视频显微镜/高分辨率金相显微镜、荧光显微镜等... 探针座可根据移动精度选择，吸附方式可选磁吸附或真空吸附；显微镜组件带有XYZ三方向调节装置，配置连接组件，可安装各类显微镜主体

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定制型探针台可选项：光学主体：体式显微镜/高倍率超长工作距离视频显微镜/高分辨金相显微镜；真空吸附卡盘或固定式夹具；真空吸附加热卡盘（温度：200℃/300℃或其它）；可选低温制冷卡盘；低温罩箱（用于充入氮气低温制冷）；客户定制化移动平台；各类DC探针、高频探针、六盒联盟线等…；CCD或C-MOS视频成像装置；各类探针夹具；静音真空泵；屏蔽箱；防振桌；R轴及Z轴精调装置；适配器；转接头；电学测试设备；其它外围组件定置型探针台

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真空低温电学测试探针台的技术指标：直流探针阻值为50欧姆，为射频RF测量提供很好的匹配阻抗；探针臂分别在防辐射屏及样品台上热沉，减少探针落针对样品温度的影响；基础温度真空指标：约5 × 10-5 Torr；系统配备50 L进口液氮杜瓦.。

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低温真空探针台是一款低温电学测量综合性平台，是一种利用液氮/液氦快速制并为半导体晶圆片、器件、材料（薄膜、六盒联盟、石墨烯、电子功能材料、超导材料、导电材料）等提供一个真空和低温测量环境下进行非破坏性的电学表征和测量平台。该低温真空探针台可以对半导体材料进行电学测量（IV、CV、DC高阻、DC低阻、RF和微波、光电效应等），广泛应用于高校、科研、航空航天、军工院所等领域，是低温薄膜材料电学测量杀手利器。