六盒联盟

广东半自动探针台工作原理

真空低温电学测试探针台的技术指标：1、温度范围：80 K-475 K；2、制冷形式：采用液氮制冷；3、循环时间：小于2.5小时；4、4个直流探针臂，用来做电学实验，可进行直流到50 MHz的电学测量；5、探针臂的可移动距离X方向51 mm；

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低温真空探针台是一款低温电学测量综合性平台，是一种利用液氮/液氦快速制并为半导体晶圆片、器件、材料（薄膜、六盒联盟、石墨烯、电子功能材料、超导材料、导电材料）等提供一个真空和低温测量环境下进行非破坏性的电学表征和测量平台。该低温真空探针台可以对半导体材料进行电学测量（IV、CV、DC高阻、DC低阻、RF和微波、光电效应等），广泛应用于高校、科研、航空航天、军工院所等领域，是低温薄膜材料电学测量杀手利器。

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磁场低温探针台是一种用于物理学领域的计量仪器，于2017年3月6日启用。主要功能：配合电学仪表实现电子器件的电磁学特性表征，支持DC-50MHz电信号测量，可提供正负2.5T垂直磁场环境以及10-500K温度环境。

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高低温探针台技术指标：1、ST-500低温真空探针台，振动水平 +/- 25 nm；漂移：+/- 150 nm 30分钟； 2、系统包括8 英寸样品台，可容纳8英寸样品。温度范围：液氦：6K-475K；液氮：80K-475K。温度均匀性+/-0.05K以内。 3、探针台提供6个探针臂端口，4个独立的微操作探针臂。

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高低温真空微波探针台是一种用于电子与通信技术领域的工艺试验仪器，于2016年10月16日启用。主要功能：能够实现样品在低温真空环境的测试，实现样品在10-4 PA 真空度，4.2K 到480K 任意温度点的精确电学测量，可实现直流和微波（40GHz）的测量。